之前我們介紹過《四探針電阻率測(cè)試儀的檢定要求和環(huán)境》，本文再給大家介紹下四探針電阻率測(cè)試儀不同檢定方法所需的設(shè)備。

　　一、檢定四探針電阻率測(cè)試儀，如果用整體法檢定，應(yīng)具備下列設(shè)備：

　　1.一臺(tái)放大倍數(shù)不低于400倍的工具顯微鏡，若干片拋光樣片。

　　2.一臺(tái)測(cè)力儀，測(cè)力儀的技術(shù)指標(biāo)為：

　　(a)測(cè)力范圍：0～9.8N

　　(b)測(cè)力儀總不確定度≤5%

　　3.三套共13個(gè)標(biāo)稱的標(biāo)準(zhǔn)樣片，電阻率名義值為0.001，0.01，0.1，1，2.5，5，10，75，100，180，250，500，1000Ω·cm。

　　注：整體方法檢定電阻率測(cè)試儀的標(biāo)準(zhǔn)樣片，表面應(yīng)沒有任何臟物，長(zhǎng)期使用應(yīng)注意定期清洗(按標(biāo)準(zhǔn)樣片使用說明中規(guī)定的方法清洗)，以保持樣片表面的清潔。

　　二、檢定四探針電阻率測(cè)試儀，如果用分部件檢定，還應(yīng)具備下列設(shè)備：

　　1.一套標(biāo)準(zhǔn)電阻，標(biāo)準(zhǔn)電阻的標(biāo)稱值為0.001，0.01，0.1，1，10，100，1000Ω共七個(gè)阻值。其電阻本身具有溫度修正系數(shù)，以備作模擬電路的電阻r。

　　2.若干只不同標(biāo)稱值的一般電阻，以備作模擬電路的電阻R。

　　3.0.1℃分度值的溫度計(jì)一只。

　　另外再補(bǔ)充介紹下四探針電阻率測(cè)試儀的探頭檢定。

　　1、測(cè)量探針壓力：用測(cè)力儀測(cè)出每根針的力及四根針的合力。

　　2、觀察探針壓痕形狀。測(cè)量壓痕直徑和間距。

　　用一個(gè)拋光面的硅片，在被檢儀器四探針的力為合格值時(shí)，壓10組壓痕(注意10組壓痕的排列順序，不可弄亂)。然后用顯微鏡觀察每個(gè)壓痕的形狀，讀出Y軸YA和YB讀數(shù)(即每組壓痕中的zui大值與zui小值)，并算出YA和YB的差值。然后測(cè)量壓痕直徑及相鄰兩個(gè)壓痕之間的距離。合格的探針壓痕是指觸點(diǎn)均勻接觸，而無滑動(dòng)的痕跡。探針壓痕的直徑和間距按公式計(jì)算。

　　以上是四探針電阻率測(cè)試儀不同檢定方法所需設(shè)備的全部?jī)?nèi)容，更多信息咨詢!